研究刻蝕機臺論文（刻蝕機的組成）
本文目錄一覽：
物理研究性學習結題報告-納米技術的發展及應用
回顧粘結劑的發展過程。 約翰•；丁達爾是怎樣應用他對于光在溶液中散射的研究解釋天空為什么是藍色？ 了解納米技術的發展及我國納米技術及應用領域。 為北京2008年奧運會設計一種有中國特色的節能環保型奧運火炬。
在研究性學習的過程中，開題報告與結題報告是兩個重要的環節。開題報告主要是設定研究目標，闡述已有研究成果，介紹研究工具和參考文獻，并規劃研究方法和計劃。開題報告是在研究開始前對研究課題的全面思考與規劃。而結題報告則側重于總結研究過程。
結題報告的正文：主要包括三個部分。(1)課題的一般情況，闡述列題的背景；指明課題目標、研究思路及原則；說明研究歷時及階段，并分析各階段的主要工作和特點。
劉曉為論著成果
1、劉曉為在學術領域取得了顯著的成果，他的研究涵蓋了多個技術領域。在1994年的《半導體學報》上，他與合作者共同探討了摻硼多晶硅薄膜的電阻率溫度特性，詳細分析了其變化規律，文章編號為15(6)：429-434。
中國哪所大學的微機電系統專業(mems)最好?
微機電系統工程專業在全球范圍內，各大高校紛紛展開了激烈的競爭。在這一領域，中國高校的表現尤為突出。根據最新的排名，清華大學榮登榜首，哈爾濱工業大學緊隨其后，位列第二。上海交通大學、華中科技大學、北京理工大學、天津大學、大連理工大學、浙江大學和西安交通大學依次排在第三至第十位。
于國內做MEMS（微機電系統）方向最好的大學，我向你推薦清華大學、北京大學、上海交通大學和浙江大學。這些高校在MEMS領域的研究歷史悠久，積累了豐富的經驗和資源，擁有優秀的師資團隊和先進的實驗設施，是國內MEMS方向的佼佼者。清華大學在MEMS領域的研究一直處于國內領先地位。
東南大學在MEMS領域擁有多個國家級和省部級科研平臺，包括國家專用集成電路（ASIC）系統工程技術研究中心、光傳感/通信綜合網絡國家地方聯合工程研究中心、微機電系統（MEMS）教育部重點實驗室和教育部信息顯示與可視化國際合作聯合實驗室。這些平臺為MEMS技術的研究和開發提供了強有力的支持。
國內目前（MEMS）工藝條件最好的當數北大，尤其是深槽刻蝕技術，已經張大成老師摸的很透徹，是世界水平。但是別的就一般了。北大的幾樣法寶：深槽刻蝕機，雙面光刻機，和一套鍵和設備。目前已經開發出國內很流行的兩套體硅工藝和一套單層多晶硅的表面硅工藝。
北京大學微電子研究院的MEMS研究所是中國最早的MEMS代工機構，研究范圍廣泛，涵蓋了RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS和NEMS等多個前沿方向。
MEMS（微機電系統）方向，東南大學是最優選擇，但需注意其微電子學院眾多，需仔細區分。材料方向，華中科技大學實力最強，但因其研究方向已轉向其他領域，對于本科為微電子專業的學生來說可能不太合適。理論研究方向，南京大學和吉林大學較強，但理論研究的前景可能有限。